FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

• 用于自动测量直径为12英寸的晶圆上的薄涂层和多层结构的特殊仪器
• Microfocus Ultra 超微聚焦射线管（钨阳极），在 µ-XRF 的最小光斑上实现更高性能；钼阳极可选。
• 4种可切换的滤波器
• 多毛细管光学结构 可允许 10或20µm FWHM的特别小的测量点和最佳的局部分辨率
• 硅漂移探测器  50 mm²，用于在薄层上实现最大的精度
• 全自动晶圆处理和测试提升效率
• XRF系统具有出色的检测器灵敏度和高分辨率
• XRF系统配备多毛细管光学元件，是全球测量微点技术的领先者
• 多种操作模式；需要时可手动测量
• 灵活：扩展底座可用于FOUP、SMIF和晶圆盒，适用于6英寸、8英寸和12英寸晶片
• 数字脉冲处理器 DPP+。 相同标准偏差下的测量时间更短*
  _{*与民进党相比。}

镀层厚度测量

• 纳米级金属化层（UBM）
• 铜柱上的薄无铅焊料盖
• 极小的接触面和其他复杂的2.5D / 3D 复合应用

材料分析

• C4和较小的焊点
• 铜柱上的无铅焊料盖