FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI
性能得益于
DPP+
提升高达 50%
提升高达 50%
多毛细管光学
内部生产并不断开发²
内部生产并不断开发²
无与伦比
成本效益比
成本效益比
¹ ² 显示更多
显示更少
¹ 与 DPP 相比，DPP+ 大大提高了标准偏差，从而提高了测量能力，或大大缩短了测量时间。
² 不断发展的多毛细管光学。Fischer 公司生产的高端毛细管光学 - 世界上唯一一家自己生产多毛细管的 X 射线荧光测量仪器制造商。
精确 XRF 测量晶片上的微结构。
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI 是对晶圆微结构进行全自动检测的最佳测量解决方案。自动化的晶圆处理和检测过程确保了极高的效率，并通过封装的检测环境实现了一致的检测条件，从而实现了无差错的晶圆处理和测量。功能强大的探测器、超微聚焦射线管和用于最小测量点的多毛细管光学保证了出色的测量性能。
自动化解决方案可作为预制解决方案提供。从现有的硬件和软件设计中获益。我们将根据您的要求共同修改和调整自动化设备。
完全自动化。
自动运行，可编程，测量过程流畅
智能细节，方便实用。
集成 CCTV 监控整个处理过程
易于维护。
大型维修舱门，方便检修各个组件
DPP+ 数字脉冲处理器。
缩短测量时间或改善标准偏差*。
*与 DPP 相比
与无尘室兼容。
晶圆无污染，测量条件恒定
可编程。
自动识别和接近测量点
市场上最先进的多毛细管光学。
我们自主生产的多毛细管光学可提供出色的测量结果，测量时间短
功能强大的硅漂移探测器和多毛细管光学可实现最小的测量点，是测试微结构的理想之选。
有了 Ultra 微聚焦射线管，激发强度显著提高。这就确保了以最小的测量点实现更好的测量性能。
搬运机器人将测量装置装入 6 英寸、8 英寸和 12 英寸晶圆。
自动对接和装载标准 FOUP 和晶圆盒中的晶圆。
利用市场上功能最强大的应用软件 WinFTM®，实时传输、评估和输出测量数据。
产品视频
宣传册
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ SEMI: Automated measurement of wafer microstructures
