探索我们全新的FISCHERSCOPE® XDAL®和XDV®,搭配先进的FISIQ® X软件。 了解更多!

半导体

超薄多层膜和微结构的高精度涂层厚度测量和材料分析

如何在保持半导体制造最高质量控制标准的同时,可靠地测量和分析超薄、复杂的多层系统和微结构?

我们的XRF 仪器可为您提供高性能的解决方案,用于对硅和化合物半导体进行精确的涂层厚度测量和材料分析。无论您需要全自动系统还是紧凑型台式仪器,我们都能为您提供合适的测量解决方案--同样适用于电子应用

要求最好。相信 FISCHER。

市场领导者
测量性能
全自动和部分自动化
解决方案 - 根据您的要求量身定制
一流的软件
- 直观、高效、强大
聚毛细管光学
最小光斑尺寸
优秀
FISCHER 客户服务
可靠的备件供应
配有 FISCHER 原装配件

应用

我们的测量技术深受全球半导体和电子行业众多客户的信赖。可靠性、效率以及最重要的是,市场领先的测量性能使我们的仪器不可或缺。从晶圆封装和高级封装到大功率半导体和电子应用,我们的解决方案能够带来真正的、可测量的效益。

铅框

引线框架是基本封装工艺中的重要组件,在芯片和外壳外部连接之间起着机械支撑和电气连接的作用。引线框架通常涂有复杂的多层涂层。这些层通常包括厚度在纳米范围内的金层和钯层,而镍层通常有几微米厚。正是这种铅载体的丝状结构导致测量极易出错,并使质量控制变得复杂。了解如何与我们共同应对这一挑战!

着陆坪

在半导体封装技术中,着陆垫是芯片上的基本接触点,例如在接线过程中用于连接导线,或在倒装芯片封装过程中用于焊接凸点。由于着陆垫是由铝、铜或镍等金属制成的,因此通常会提供保护性或钝化涂层,以防止腐蚀和金属扩散。您正在寻找快速可靠的测量解决方案吗?

BGA

球栅阵列 (BGA) 是集成电路 (IC) 和微处理器的一种外壳,用于安装在印刷电路板上。它们提供了高密度的连接,在外壳下面排列成一个微小的焊球矩阵。了解我们先进的测量解决方案如何快速可靠地测试 BGA!

UBM

高质量的凸点下金属化(UBM)对倒装芯片连接的性能和可靠性至关重要。它通常应用于金属焊盘,以确保后期工艺中焊接凸点具有更好的可焊性和附着力。此外,UBM 还能形成防止金属扩散的阻挡层,从而改善芯片与封装之间的连接。您是否准备好了解我们的解决方案如何帮助您测量 UBM?

焊接凸点

在倒装芯片或先进封装工艺中,例如晶圆级、2.5D 和 3D 封装技术,焊接凸点、铜柱凸点和金凸点用于将芯片连接到基板或基板上的晶圆(CoWoS)。出于功能性和成本的考虑,不同类型凸点的确切材料成分(尤其是锡银浓度)以及涂层厚度起着重要作用。了解我们应对这一挑战的测量解决方案!

RDLs

再分布层(RDL)是晶圆级封装(WLP)的关键组件,尤其是在晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)等先进技术中。它们用于重新分配芯片的连接位置,使其符合不同封装设计的标准化布局。由于 RDL 中的导电轨道大多由铜制成,因此还需要使用钛、铬或镍薄层,以防止铜扩散到绝缘材料中,并实现更好的附着力。想了解我们的测量解决方案如何帮助您?

背面金属化

背面金属化是大功率半导体和传感器制造(如 MEMS 传感器)的关键工艺步骤。通过精心选择层数及其组合顺序,背面金属化可在电气、机械和热性能方面与相应半导体元件的特定要求实现最佳匹配。您正在寻找测试背面金属化的测量解决方案吗?

弹簧触点/Pogo 销

Pogo 引脚或弹簧引脚是放置在晶片上的电气连接装置,用于使用探针卡进行晶片测试。为了在此测试过程中获得绝对可靠的结果,Pogo Pin 的功能涂层必须是高质量的。了解我们先进的测量解决方案如何使 pogo pins 测试变得简单而精确

联系我们

请留下您的联系方式,我们会尽快与您联系。

 

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我们为您的挑战提供的解决方案

主要应用

背面金属化、着陆垫、微型垫、RoHS 屏蔽

您面临的挑战

  • 测量多种不同合金和复杂多层膜
  • 测量小型和大型样品
  • 以极低的检测限进行痕量元素分析

我们的产品亮点

  • 各种规格的准直仪,最大尺寸可达 3 毫米,过滤器可通用
  • 通过优化组件和测量几何形状,实现最高精度和最短测量时间
  • 用于自动测量的可编程测量台
  • 具有高效工作流程的市场领先软件

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ

光斑最小,精度最高。

了解更多

主要应用

引线框架、细导线、焊接凸点、微型焊盘、SMD 元件、Pogo 引脚、BGA、UBM、RDL

您面临的挑战

  • 微结构测量
  • 测量平面样品和超薄多层膜

我们的产品亮点

  • 多种过滤器、检测器和聚毛细管光学器件可供选择,可实现最小的测量点和最高的测量精度
  • C 型槽外壳,便于处理扁平、大型样品
  • 市场领先的软件,可完成具有挑战性的测量任务

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ LD

光斑最小,测量距离最远。

了解更多

 

主要应用

组装印刷电路板、连接器、pogo 引脚

您面临的挑战

  • 处理不同的样品尺寸和复杂的形状
  • 测量带有组件或不同层面的样品
  • 测量微观结构
  • 测量超薄多层膜

我们的产品亮点

  • 采用独特的 35 µm 聚毛细管光学镜组,测量距离大,可测量形状复杂样品上的最小特征,例如用于测量可能出现翘曲的晶片
  • C 型槽外壳,便于处理扁平的大型样品
  • 市场领先的软件,可完成具有挑战性的测量任务

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER

用于晶片应用的尖端技术。

了解更多

 

主要应用

焊接凸点、铜柱凸点、金凸点、小型接触面、微型焊盘、UBM、RDL

您面临的挑战

  • 测量直径从 6'' 到 12'' 的晶片上的薄膜和微结构
  • 处理可能出现翘曲的晶片
  • 满足洁净室要求

我们的产品亮点

  • 多种检测器和聚毛细管光学器件可选,可实现最高精度的薄层检测
  • 真空晶片卡盘或带机械压平功能的定制晶片处理装置
  • 通过市场领先的软件提供广泛的自动化选项

主要应用

焊接凸点、铜柱凸点、金凸点、小型接触面、微型焊盘、UBM、RDL

您面临的挑战

  • 晶圆测量过程自动化
  • 管理高产量
  • 处理可能出现翘曲的晶片
  • 满足洁净室要求

我们的产品亮点

  • 集成FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER和自动晶片处理系统的全自动测量系统
  • 多种探测器和聚毛细管光学器件可供选择,可实现最高精度的薄层测量
  • 市场领先的软件可提高您的效率

定制解决方案

为您的测量任务提供合适的解决方案。

根据要求定制全自动或半自动系统结构。我们可根据您的应用,实施额外的工艺步骤,如机械压平晶片。通过与本地集成合作伙伴合作,我们可以避免较长的交付周期。

除 XRF 外,我们还提供其他测量方法。如需了解更多信息,请直接联系我们