
避免倾斜
样品不能倾斜,即待测位置必须绝对水平。必须特别注意这一要求,因为样品上通常没有绝对平坦的表面。
正确的聚焦在测量点上
如果测量点的聚焦不正确,那么软件将会得到一个错误的测量距离。这可能会导致测量错误。
XRF原理的饱和厚度
XRF法测量受到物理限制。如果镀层的厚度过大,则存在饱和的风险。对于现有的测量应用程序,可在装有WinFTM®软件的仪器上估算这个限制。
在图3上可以看到, 在铬镀层和镍镀层厚度分别为0.2μm和7.5μm的前提下,确定了铜镀层的测量范围。它在镀铬层之下的测量范围约为1至25μm。
此外,还可以选择库仑法测定Cr/Ni/Cu镀层的厚度。在该方法中,在测量区域连续电解腐蚀掉涂层,并根据去除的时间在COULOSCOPE® CMS中确定涂层厚度。
表1显示测量的镀层厚度:在每个用库仑测量的位置周围用XRF仪器测量了四个位置。库仑测量结果包括了对每个镀层元素的测量。 这两种方法测得的值非常接近,但有经验的观察者会注意到,两种方法得出的结果并不完全相同。
造成这种差异的原因可能是在XRF中样品的测试位置不同;涂层的不均匀性也可能有一定影响。铜层的话,已经接近XRF的饱和厚度也是事实,因此测量的不确定度会大大增加。
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