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这种类型的多毛细管光学系统可以聚焦X射线。根据应用可以对光学元件的特定参数进行优化。可以在样品表面实现小光斑或高强度信号。光学出口与样品表面之间的工作距离增大,光斑尺寸也随着增大。

规格

针对XRF和XPS应用的多毛细管聚焦系统

  多毛细管大透镜 多毛细管迷你透镜 多毛细管微型透镜
源-入射距离f1 [mm] > 40 > 40 > 30
长度L [mm] 150-300 50-300 40-60
出口-焦距f2 [mm] > 40 > 10 5-25
入口尺寸Din [mm] > 5 > 4 > 2
最大尺寸Dmax [mm] <16 7-9 4-5
出口尺寸Dout [mm] > 5 > 2 > 1
捕获角Φ[rad] 0.05-0.2 0.04-0.15 0.05-0.1
能量范围[keV] 1-30 3-30 3-30
最佳光源尺寸[µm] > 50 30-1000 30-50
焦点尺寸[µm] > 200 30-600 10-100
强度增益 500-4000 1500-20000 1000-7000
应用于 XRF,XRD µXRF,µXRD,µXPS和iMOXS-SEM µXRF,µXRD和µXPS
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